Quanta 450 鎢燈絲掃描電鏡
制造廠商:美國FEI公司
設備用途:掃描電鏡主要用于各種材料的組織形貌觀察,材料斷口分析和失效分析;配備能譜儀可進行材料實時微區的成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量;配備背散射電子衍射儀(EBSD)可進行晶格取向分析;配備非金屬夾雜物分析軟件可進行夾雜物定性定量分析。
設備特點:對于失效分析、質量控制和材料表征而言,Quanta 450鎢燈絲掃描電鏡具有經濟、高效的高分辨成像和分析應用的解決方案,應對不導電樣品,Quanta 450提供了低真空模式下的高性能、消除了對專用的樣品制備步驟;另外Quanta 450加上了換掃模式,擴展了SEM的成像和分析功能。
技術參數:
1.分辨率:(1) 二次電子(SE)成像:
高真空模式:30KV時≦3.0nm;3KV≦8.0 nm
低真空模式:30KV時≦3.0nm;3KV≦10.0 nm
環境真空模式:30KV時≦3.0nm
(2) 背散射電子(BSE)成像
高、低真空模式:30KV時≦4.0nm
2.放大倍數:高真空模式下,13x-1000000x
放大倍數誤差:≦3%
3.牛津能譜儀(EDS):能量分辨率:MnKa保證由于127eV,
元素分析范圍:Be4~Cf98。